分子泵转速升不上去的主要原因包括以下几种:
污染:分子泵内部受到污染,如油蒸气、水蒸气、有机物和金属蒸汽等污染物附着在泵内表面,会影响排气速度,导致泵速无法上升。
气体反压:泵入口处存在高于大气压的气体压力,限制了排气速度,常见原因包括管道设计不合理、漏气点或附加设备连接不当。
底漏:泵内部压力低于大气压时,气体从泵前端进入泵内,导致实际气体抽取速度低于理论值,主要原因包括密封不良或设计缺陷。
扭力不足:马达扭力不足,可能是由于马达设计不良、零件损坏或磨损等。
泵内气体泄漏:密封不良、泵体材料老化或密封圈磨损会导致抽气速度下降和真空度不稳定。
解决方法有以下这些:
1. 清洗泵内部:采用高温烘烤、溅射和化学清洗等方法去除污染物。
2. 排除气体反压:调整管道尺寸和位置,确保排放管道畅通无阻,并定期检查并修复漏气点。
3. 更换密封件:如果底漏是主要原因,更换泵内部的密封件以确保泵内部压力始终低于大气压。
4. 更换零件:如果马达扭力不足,可能需要更换马达或其他零件。
5. 泄漏检测与修复:通过气体泄漏检测仪器确定泄漏点,重新密封或更换磨损的密封圈